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在等離子區(qū)強(qiáng)電場作用下，氮和氫的正離子以高速向工件表面轟擊。離子的高動(dòng)能轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?，加熱工件表面至所需溫度。由于離子的轟擊，工件表面產(chǎn)生原子濺射，因而得到凈化；同時(shí)由于吸附和擴(kuò)散作用，氮遂滲入工件表面，形成滲氮層。
與氣體滲氮相比,具有滲氮速度快、滲氮層組織易于控制、脆性小、無環(huán)境污染、節(jié)約電能、變形小等優(yōu)點(diǎn)。
